【招标公告】SG2023006699001高真空电子束沉积系统-电子科技大学-竞价公告(CB106142023000099)

电子科技大学 - 竞价公告 (CB106142023000099)
发布时间：2023-11-14 09:09:48 截止时间：2023-11-17 09:19:34
基本信息：
申购主题：SG2023006699001高真空电子束沉积系统
报价要求：国产含税
发票类型：增值税普通发票
付款方式：货到验收合格后付款
送货时间：合同签订后7天内送达
安装要求：免费上门安装（含材料费）
预算：400,000.00 人民币

收货地址：四川省/成都市/郫都区/****
备注说明：
采购明细：

序号	采购内容	数量/单位	预算单价	品牌	型号	规格参数	质保及售后服务	附件

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SG2023006699001高真空电子束沉积系统

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泰科诺

TEMD500

1、真腔室≥φ500 mm×H600 mm，立式圆柱形、前开门结构、腔室采用水冷套冷却，材质为优质 304 不锈钢，所有焊缝连接采用氩弧自动焊接技术，内表面抛光，外表面进行电抛处理；腔室加热室温～150±1℃，PID 智能控温。 2、基片台1套 2.1 电机驱动旋转基片台，≥Φ150mm,插槽式，可装卡各种规格基片；转速 0～20 转/分钟可调； 2.2 基片台水冷：15～30℃； 2.3 不均匀性：≤±5%（基片台Φ120mm范围内）； 3、电子束蒸发源 3.1 电子枪电源≥10kW，偏转角270°，1套； 3.2电子枪气动挡板1 套。 4、电阻蒸发源 4.1 水冷铜电极2套，底部通水冷却，电极夹具高度可调。电极间有隔离板，防止相互污染；4.2 蒸发电源1台，功率≥3 KW。低压大电流加热模式 0～10V，0～300 A 可调可控； 5、膜厚控制系统： 提供一套进口膜厚监测系统，膜厚和速率分辨率≤±0.37 Å ，需注明生产厂家、品牌型号和规格参数； 6、真空系统 6.1 真空机组采用“复合分子泵+涡旋干泵+高真空阀门+数显复合真空计”高真空系统； 6.2 极限真空：优于6.0×10-5Pa； 6.3 分子泵抽速：≥1200 L/S； 6.4 涡旋干泵（进口）抽速：≥8 L/S； 7、水路系统 7.1 标准制冷量≥ 9.45 KW；温度 15～25 ℃可控； 7.2 冷却水总进水采用水压继电器控制，缺水报警； 8、电气控制系统 8.1 采用PLC+工控机+液晶屏全自动控制系统，可实现一键式自动抽真空； 8.2可实现工艺菜单编辑，真空度、温度、电源参数、镀膜时间等工艺参数的写入与修改； 8.3自动储存设备运行的历史记录，可随时查看及拷贝； 8.4可根据客户工艺操作习惯，定制操作界面布局、工艺数据及工艺数据曲线显示模式，扩展数据储存量等； 8.5 安全保护报警系统：在缺水、水压过低、过流过压、断路等情况下的报警系统；完善的逻辑程序互锁保护系统； 9、控制柜与机架 铝合金外框包装，腔室与电控为分体，底下配脚轮，方便移动、定位； 10、辅助部件 配齐该镀膜设备的外围设备：冷却循环水机台，静音气泵各1台，所需试验蒸镀材料，保证设备就位后即能开展工作。

1. 乙方应对甲方提供完善及时的售后服务和技术支持。受理甲方要求，在2小时内做出响应，如须现场解决问题，48小时内到达现场。 2. 在仪器到货后，乙方工程师将按用户的时间安排进行仪器安装调试，并对使用人员进行现场技术培训，免收技术培训费。 3. 提供整机免费保修≥1年，自设备安装、调试完毕，综合验收测试合格的次日起为设备交付及质量保证期限的开始。 4. 负责向甲方提供最新的仪器应用和最新技术资料。