【招标公告】产教融合平台-影像中心-真空蒸镀镀膜系统采购项目（ZBZXHB2024008）延期公告

延期信息
延期理由：由于该项目报价情况不满足要求，本项目延期至2024-03-05 09:00
项目名称：产教融合平台-影像中心-真空蒸镀镀膜系统采购项目
项目编号：ZBZXHB2024008
采购单位：四川大学
联系人：中标后在我参与的项目中查看
联系电话：中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求：
到货时间要求：
预算总价：***
收货地址：成都市华西校区前沿医学中心研究极大楼
供应商资质要求：符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购商品:真空蒸镀镀膜系统
采购数量:1
计量单位:台
预算单价:***
技术参数及配置要求:2组金属蒸发源 加热温度 室温～250℃ 详细如下： 1.真空腔室 腔室内尺寸Φ600×750mm（以实际设计为准），不锈钢腔室通水冷却； 2.真空系统 复合分子泵+机械泵系统,抽速：2000L/S，气动真空阀门，“两低一高”数显复合真空计； 3.极限真空 空载优于5.0×10-5Pa（24小时以内）； 4.抽 速 空载从大气抽至5.0×10-4Pa≤35min；（烘烤除气后） 5.漏 率 设备升压率≤0.8Pa/h；设备保压：停泵12小时候后，真空≤8Pa； 6.蒸发源及蒸发电源 2组蒸发源，水冷结构；国产蒸发电源，电源功率3000W 1台; 7.水冷基片台 基片台水冷结构，可承载Ф200mm尺寸的基片，可根据客户要求提供对应规格的工件托板（材质硬铝做阳极氧化），保证样品与水冷基片台贴合紧密；工装设计需要和客户沟通再设计； 8.基片旋转 旋转速度：5～20转/分钟，可调可控，可加偏压； 9.膜厚不均匀性 Ф200mm≤±5%；（镀铝膜层） 10.膜厚监控系统 Infocon SQC-310 2通道膜厚仪，1个原厂经济型探头，可实现蒸发源速率控制及膜层终厚控制； 11.控制方式 PLC+触摸屏人机界面半自动控制系统； （可实现抽真空、镀膜至停止真空全过程自动）； 12.报警及保护 对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统； 13.冷却循环水机≥2P，医用静音空气压缩机1台。 占地面积 长×宽: 2500×1600mm。
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