【招标公告】等离子体增强化学气相沉积-招标公告

等离子体增强化学气相沉积-招标公告 (招标编号：TC24118FN) 招标项目所在地区：四川省绵阳市 一、招标条件 本等离子体增强化学气相沉积【重新招标】（招标项目编号：TC24118FN），已由项目审批/核准/备 案机关批准，项目资金来源为国企自筹，招标人为中国电子科技集团公司第九研究所。本项目已具备招标 条件，现进行公开招标。 二、项目概况和招标范围 项目规模：本设备主要用于在晶圆表面沉积SiNx、SiO2等介质薄膜作为绝缘层、隔离层或保护层，最 大支持8英寸晶圆沉积，可向下兼容，应用领域主要为MEMS工艺。系统具备报警、安全互锁等保护功能等 。 招标内容与范围：本招标项目划分为标段1 个标段，本次招标为其中的：001 等离子体增强化学气相沉积 三、投标人资格要求 001 等离子体增强化学气相沉积： 3. 投标人资格要求 3.1本次招标要求投标人为独立法人单位，并具有与本招标项目相应的供货能力。 3.2投标人为企业单位的提供2023年度经会计师事务所或审计机构审计的财务会计报表。上述财务会 计报表至少应包括资产负债表、现金流量表、利润表和财务情况说明书的复印件，缺一不可。成立不足一 乙双方盖章页、合同签订时间、标的物名称、型号、技术要求等主要内容，且需提供合同金额30%及以上 的发票复印件（投标现场需提供合同原件进行核实），未按要求提供的业绩证明均不予认可。3.3.1、投标人自2021年1月1日至投标截止日期间，具有本次招标设备相同或类似的业绩不少于2个；1个业绩指1份合同，需提供附有技术条款或技术协议的合同复印件等证明材料。合同内容应能体现甲 年的应提供成立以来的财务状况表。投标人为科研院所、高等院校等事业单位的提供2023年度经审计（或 内审）的财务报告。 3.3业绩要求： 3.4信誉要求：投标人未被最高人民法院列入失信被执行人名单，提供信用中国（ https://www.creditchina.gov.cn）/或中国执行信息公开网(http://zxgk.court.gov.cn/)查询结果。投标人 为科研院所、高等院校等事业单位的可提供信誉承诺（格式自拟）。 3.5其他要求: （1）本次招标不接受联合体投标。 （2）投标人对其提供的文件资料真实性负责。即使投标人提交的文件资料通过了审核，在评标过程 中乃至定标后，如发现投标人所提供的文件资料不合法或不真实，则其投标将作为废标处理，并承担相应 法律责任。 （3）投标人对响应条款应承担履约责任，若签约后无法履约，将纳入中国电科供应商负面清单，并 追究其违约责任。 3.6未在招标代理机构登记、获取招标文件者投标无效。 本项目不允许联合体投标。 四、招标文件的获取 获取时间：2024年08月14日17时00分00秒---2024年08月20日17时00分00秒 获取方法：详见七、其他公告内容 五、投标文件的递交 递交截止时间：2024年09月04日09时30分00秒 递交方法：详见七、其他公告内容 六、开标时间及地点 开标时间：2024年09月04日09时30分00秒 开标地点及方式：详见七、其他公告内容 七、其他公告内容 招标公告 1. 招标条件 本招标项目等离子体增强化学气相沉积（项目名称）招标人为 中国电子科技集团公司第九研究所，招标项目资金来自国拨资金 （资金来源）。该项目资金已落实具备招标条件，现对本项目进行国内公开招标。2. 项目概况与招标范围 2.1招标编号：TC24118FN 2.2数量：1台/套 2.3主要功能： 3. 投标人资格要求 2.4交货地点：绵阳市高新区滨河北路西段268号中国电子科技集团第九研究所 2.5交货期：合同签订后8个月内完成到货及安装调试。 3.1本次招标要求投标人为独立法人单位，并具有与本招标项目相应的供货能力。 本设备主要用于在晶圆表面沉积SiNx、SiO2等介质薄膜作为绝缘层、隔离层或保护层，最大支持8英寸晶圆沉积，可向下兼容，应用领域主要为MEMS工艺。系统具备报警、安全互锁等保护功能等。详见第五章供货要求。 3.2投标人为企业单位的提供2023年度经会计师事务所或审计机构审计的财务会计报表。 上述财务会计报表至少应包括资产负债表、现金流量表、利润表和财务情况说明书 的复印件，缺一不可 。成立不足一年的应提供成立以来的财务状况表。投标人为科研院所、高等院校等事业单位 的提供 202 3年度经审计（或内审）的财务报告。 3.3业绩要求： 3.3.1、投标人自2021 年1月1日至投标截止日期间，具有本次招标设备相同或类似的业绩不少于2个； 1个业绩指1 份合同，需提供附有技术条款或技术协议的合同复印件等证明材料。合同内容应能体现 甲乙双方盖章页、合同签订时间、标的物名称、型号、技术要求等主要内容，且需提供 合同金额 30%及以上的发票复印件 （投标现场需提供合同原件进行核实），未按要求提供的业绩证明均不予认可。 3.4信誉要求：投标人未被最高人民法院列入失信被执行人名单，提供信用中国（https://www.creditchina.gov.cn）/或中国执行信息公开网(http://zxgk.court.gov.cn/) 查询结果。投标人为科研院所、高等院校等事业单位的可提供信誉承诺（格式自拟）。 3.5其他要求: （1）本次招标不接受联合体投标。 （2 ）投标人对其提供的文件资料真实性负责。即使投标人提交的文件资料通过了审核，在评标 过程中乃至定标后，如发现投标人所提供的文件资料不合法或不真实，则其投标将作为废标 处理，并承担相应法律责任。 （3 ）投标人对响应条款应承担履约责任，若签约后无法履约，将纳入中国电科供应商负面清单，并追究其违约责任。 3.6未在招标代理机构登记、获取招标文件者投标无效。 4. 招标文件的获取 4.1从2024年8月14日开始至2024年8月20日 ，每天9:00～11:00、13:30～17:00 元人民币/ 包，请有意参加投标的潜在投标人确认自身资格条件是否满足要求，售后不退，应自负其责 详见附件-特别告知； 4.2招标文件每套售价为800 发售招标文件，文件发售方式为网上在线下载电子文件，网址为 。 。 5. 投标文件的递交 5.1 投标文件递交的截止时间：2024年9月4日9时30分； 5.2 响应文件递交地点：绵阳市游仙区华庭酒店3楼北区会议室； 5.3 逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文件，招标人将予 以拒收。 6. 发布公告的媒介 本次招标公告同时在中国招标投标公共服务平台（http://www.cebpubservice.com/）、中国电科电子采购平台（www.cetceg.com）上发布。 7. 联系方式 招标人：招标代理机构： 中国电子科技集团公司第九研究所 中招国际招标有限公司 地址：地址：北京市海淀区学院南路62号 四川省绵阳市涪城区滨河北路西端268号 /绵阳市游仙区华庭酒店3楼北区 邮编： 621000 邮编： 100081 联系人：*** 联系人：***、刘明松 电话：*** 电话：010-62108295/*** 技术负责人：李老师 传真： 010-62108295 电话： 17708053791 电子邮件： daikunpeng@cntcitc.com.cn 账户名称： / 账户名称：中招国际招标有限公司 账号： / 账号：0200049619200362296 开户银行： / 开户银行： 中国工商银行北京海淀支行营业部 附件： 特别告知 各潜在供应商： 有意参加招标采购活动的单位，请于规定时间内完成以下步骤： ）或在中招国际招标有限公司网站主页点击【供应商入口】进行免费注册。（注册步骤 ：【供应商入口】 -【立即注册】-填写信息- 完成注册，具体操作步骤详见【立即注册】页面《中招联合招标采购平台快速注册指引 （1）注册：登录中招联合招标采购平台（http://www.365trade.com.cn；下简称“ 交易平台” 》）。潜在供应商只需注册一次，不同的经办人可建立多个账户。交易平台负责对潜在 供应商注册信息与其提供的信息进行一致性检查。 （2 ）购买招标文件：经办人凭获得的用户名、密码验证身份登录进入系统，点击【寻找商 机】进行项目名称查询，找到项目点击【我要参与】，等待项目经理审核通过后，潜在 供应商选中需要报名的包加入购物车进行标书费用支付。潜在供应商请在招标文件售卖 截止时间前登录中招联合招标采购平台完成注册、下单操作，否则将无法保证获取招标 文件。 （3）支付方式：线上支付 潜在供应商若在交易平台下载招标文件，除文件款外还需通过网银支付招标文件下载服 务费，收费标准为每套人民币 200元，由中招联合信息股份有限公司出具增值税电子普通发票，文件购买人可登录“中招联合招标采购平台”自行下载增值税电子普通发票。 文件款、平台交易服务费一经收取不予退还。 （4）技术支持：如有疑问可拨打中招联合招标采购平台统一服务热线010-86397110，010-62108037进行咨询。 （5）免责声明：“中招联合招标采购平台”（网址：http://www.365trade.com.cn）为本项目缴纳标书费的唯一渠道，其他平台的支付均属无效。 八、监督部门 本招标项目的监督部门为中国电子科技集团公司第九研究所。 九、联系方式 招标人：中国电子科技集团公司第九研究所 地址：四川省绵阳市高新区滨河北路西段268号 联系人：*** 电话：*** 电子邮件：/ 招标代理机构：中招国际招标有限公司 地址：北京市海淀区学院南路62号中关村资本大厦 联系人：*** 招标人或其招标代理机构主要负责人（项目负责人）：_______________（签名） 招标人或其招标代理机构：_______________（盖章） 电话：*** 电子邮件：daikunpeng@cntcitc.com.cn