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【招标结果】大额科研仪器设备自行采购结果公示-202607030014

所属地区：四川成都市发布日期：2026-07-10

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中标单位	成都诺博尔科技有限公司	中标金额	***
联系方式	***

大额科研仪器设备自行采购结果公示 - 202607030014

序号	申购名称	计量单位	品牌	型号	技术参数	采购内容说明	供应商名称	成交数量	单价	成交金额
申购明细详情
1	真空溅射系统	台	创世威纳	MSP-300B-A	1.溅射不均匀性≤±5％的均匀区：靶大小 φ2英寸，斜靶模式Φ4英寸，直靶模式Φ30mm，溅射距离调节范围：6-12cm，靶角度调节精度：1°；2.温度指标：中心共溅射工位样片表面最高温度：600℃，控温精度：1℃，温度不均匀性：≤±1%；环带垂直溅射工位样片表面最高温度：600℃，控温精度：1℃，温度不均匀性：≤±1%？1.溅射不均匀性≤±5％的均匀区：靶大小 φ2英寸，斜靶模式Φ4英寸，直靶模式Φ30mm，溅射距离调节范围：6-12cm，靶角度调节精度：1°；2.温度指标：中心共溅射工位样片表面最高温度：600℃，控温精度：1℃，温度不均匀性：≤±1%；环带垂直溅射工位样片表面最高温度：600℃，控温精度：1℃，温度不均匀性：≤±1%	依靠真空环境下等离子体轰击靶材，把靶材原子沉积到工件表面成膜	成都诺博尔科技有限公司	1	***	***

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